Thyracont VD8系列便携式数字真空计在半导体行业的应用

一、Thyracont品牌核心优势

德国Thyracont成立于1970年，50余年专注真空测量技术创新，以高精度、耐用性及智能化为核心竞争力。其产品融合传统工艺与现代技术，例如首创的微型Pirani螺旋丝和宽量程组合传感器，已成为行业标准

。

二、核心产品系列与技术亮点

1. VD8系列便携式数字真空计

型号覆盖：

VD81：压电原理，量程1600–1 mbar（粗真空）

VD83：皮拉尼原理，量程100–5×10⁻⁴ mbar（中真空）

VD84：外置皮拉尼传感器，螺旋电缆设计，适用于狭窄空间或多点检测

VD85：压电/皮拉尼组合传感器，量程1200–5×10⁻⁴ mbar（全真空覆盖）

智能功能：

集成数据记录器（存储2000组数据），支持USB/蓝牙传输

自动关机节能模式，电池寿命长达1000小时

VacuGraph软件实时分析泄漏率、绘制泵送曲线，用于质量审计

2. Smartline数字真空变送器

工业4.0适配：

支持Profinet/EtherCAT/RS485协议，兼容OPC UA服务器，实现云平台数据互通

蓝牙适配器SLKBT支持移动端监控（VacuSniff App，16通道同步报警）

可靠性设计：

过压稳定性达16巴，抗化学腐蚀陶瓷传感器（部分型号）

即插即用传感器头更换，维护成本降低50%

3. 模拟真空传感器（VSP系列）

精密工业场景适用：

微处理器控制+温度补偿，精度±0.3%满量程。

4-20mA/0-10V输出，IP54防护等级，耐160℃高温

三、典型行业应用案例

1. 半导体制造

需求：无尘室真空度控制（10⁻⁵–10⁻¹⁰ mbar）。

方案：Smartline系列冷阴极传感器（VSH）实时监测蚀刻腔室压力，通过Profinet联动PLC调整工艺参数，避免晶圆污染

2. 真空干燥与冷冻干燥

需求：水分升华压力精准控制（1–10⁻³ mbar）。

方案：VD85记录干燥曲线，VacuGraph软件优化降压速率；VSP63MV耐蒸汽灭菌设计，适用于制药行业

3. 真空炉与材料研究

需求：高温无氧环境（1⁻⁵–50 mbar）。

方案：Smartline传感器实时阻断氧气渗入，继电器开关点联动应急抽气系统，保障高纯度材料合成

4. 真空包装与泄漏检测

需求：密封完整性验证（10⁻²–1000 mbar）。

方案：VD81嵌入包装线，数据记录器统计密封压力峰值，VacuGraph对比泄漏率趋势，提升良品率30%

5. 特殊环境应用

低温检测：VD84配合外部传感器，监控液氮罐真空绝缘层（-196℃环境）

四、技术认证与可靠性

校准标准：德国DKD实验室可追溯证书，氦检漏率<5×10⁻¹⁰ mbar·L/s

耐久性：16巴过压认证（可选测试报告），平均无故障时间>10万小时