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真空钟摆阀是真空系统中控制介质通断的关键设备，其钟摆式阀板通过气动执行机构驱动旋转，实现快速启闭。该结构对执行器的响应速度、动作精度及可靠性要求极高。传统电磁阀因体积大、响应延迟等问题，易导致阀门密封不到位或启闭冲击，影响真空系统的稳定性。
（依据附图技术规格优化）
参数项 | 技术指标 | 应用价值 |
阀体类型 | 两位三通 (3/2-way) | 单阀实现气缸双向控制 |
接口尺寸 | 15 mm (带O型圈密封排气口) | 防泄漏设计，保障真空环境气密性 |
响应时间 | ≤15 ms | 匹配钟摆阀毫秒级动作需求 |
工作压力 | 4-7 bar (可定制扩展) | 适配工业标准气源压力 |
额定流量 | >50 L/min @ 5 bar | 驱动大口径气缸仍保持高速响应 |
电气接口 | JST PHR-2 接插件 | 抗振动脱落，线长120mm便于布线 |
防护等级 | IP65 (标准) | 耐受工业环境粉尘与湿气 |
微型化设计
阀体宽度仅18mm，重量<120g，可直接集成于执行机构腔体，减少管路压降，提升系统刚性。
超动态响应
先导式结构配合低惯量电磁组件，启闭时间控制在15ms内，确保钟摆阀达到：
全开/全闭周期≤0.1秒
位置重复精度±0.5°
高流量特性
50 L/min@5bar的流量能力，驱动φ63mm气缸时理论速度可达300mm/s，满足高频次循环工况（如半导体镀膜设备每分钟20次启闭）。
真空环境适配
O型圈密封排气口设计，避免传统排气孔引发的油雾反喷或颗粒侵入，符合ISO 8573-1 Class 2洁净度要求。
参数项 | 技术指标 | 应用价值 |
阀体类型 | 两位三通 (3/2-way) | 单阀实现气缸双向控制 |
接口尺寸 | 15 mm (带O型圈密封排气口) | 防泄漏设计，保障真空环境气密性 |
响应时间 | ≤15 ms | 匹配钟摆阀毫秒级动作需求 |
工作压力 | 4-7 bar (可定制扩展) | 适配工业标准气源压力 |
额定流量 | >50 L/min @ 5 bar | 驱动大口径气缸仍保持高速响应 |
电气接口 | JST PHR-2 接插件 | 抗振动脱落，线长120mm便于布线 |
防护等级 | IP65 (标准) | 耐受工业环境粉尘与湿气 |
微型化设计
阀体宽度仅18mm，重量<120g，可直接集成于执行机构腔体，减少管路压降，提升系统刚性。
超动态响应
先导式结构配合低惯量电磁组件，启闭时间控制在15ms内，确保钟摆阀达到：
全开/全闭周期≤0.1秒
位置重复精度±0.5°
高流量特性
50 L/min@5bar的流量能力，驱动φ63mm气缸时理论速度可达300mm/s，满足高频次循环工况（如半导体镀膜设备每分钟20次启闭）。
真空环境适配
O型圈密封排气口设计，避免传统排气孔引发的油雾反喷或颗粒侵入，符合ISO 8573-1 Class 2洁净度要求。
安装要点：
阀体直接安装于气缸G1/8接口，缩短气路长度
JST接插件预涂导电膏，防止微电弧损坏
建议在供气管路增设0.01μm精密过滤器
压力波动抑制
在阀的供气口加装5cm³稳压腔，可减少压力峰值对阀芯的冲击
寿命延长措施
线圈工作电压波动范围控制在±10%
每50万次动作后更换阀芯密封套件
Staiger VA 304-50x通过微型化结构、毫秒级响应及真空优化设计，成功解决了真空钟摆阀在高速精密控制中的三大痛点：
传统电磁阀安装空间受限
慢速响应导致阀门抖动
排气污染真空腔体风险
